Піщіков Дмітрій Івановіч
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Раухман Алєксандр Марковіч, Леховіцер Світлана Борисівна, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Чуйко Олексій Олексійович, Терень Марія Іванівна, Бескровна Ірина Іванівна, Губа Галина Яківна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Куса Світлана Давидівна, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Марченко Антоніна Володимирівна
МПК: H01L 21/302, C09G 1/00
Мітки: матеріалів, полірування, хіміко-механічного, суміш, напівпровідникових
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...