Артьомов Алєксандр Сєрафімович

Номер патенту: 3399

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Терець Марія Іванівна, Чуйко Олексій Олексійович, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Губа Галина Яківна

МПК: C30B 29/16, C30B 33/08

Мітки: полірування, оксидних, фінішного, суміш, матеріалів

Формула / Реферат:

Состав для финишной полировки оксидных материалов, включающий смешанный пирогенный оксид на основе SiO2, содержащий Аl2O3, травитель и воду, отличающийся тем, что в качестве травителя используют аммиак, оксид берут с содержанием Аl2О3 9-11 мас.%, при следующем соотношении компонентов в составе, мас.%: смешанный пирогенный оксид 8,0-10,0 аммиак водный (25%-ный) 2,8-3,5 ...

Номер патенту: 3793

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Терень Марія Іванівна, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Раухман Алєксандр Марковіч, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Бескровна Ірина Іванівна, Губа Галина Яківна, Чуйко Олексій Олексійович, Леховіцер Світлана Борисівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Куса Світлана Давидівна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Марченко Антоніна Володимирівна

МПК: C09G 1/00, H01L 21/302

Мітки: матеріалів, напівпровідникових, суміш, полірування, хіміко-механічного

Формула / Реферат:

Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...