Леховіцер Світлана Борисівна
Суміш для хіміко-механічного полірування напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 3793
Опубліковано: 27.12.1994
Автори: Леховіцер Світлана Борисівна, Піщіков Дмітрій Івановіч, Марченко Антоніна Володимирівна, Раухман Алєксандр Марковіч, Губа Галина Яківна, Терень Марія Іванівна, Бескровна Ірина Іванівна, Артьомов Алєксандр Сєрафімович, Кітін Дмітрій Вячеславовіч, Куса Світлана Давидівна, Антохін Ніколай Алєксандровіч, Чуйко Олексій Олексійович
МПК: H01L 21/302, C09G 1/00
Мітки: матеріалів, полірування, суміш, хіміко-механічного, напівпровідникових
Формула / Реферат:
Состав для химико-механического полирования полупроводниковых материалов, содержащий абразивный компонент, гидроксид натрия или калия, 30%-ный раствор перекиси водорода и воду, отличающийся тем, что в качестве абразивного компонента он содержит аминоэтоксиаэросил и дополнительно - глицерин при следующем соотношении компонентов, мас. %: , Аминоэтокси аэросил 6,0-8,0 Гидроксид натрия или...