Арсентьєв Іван Микитович
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів ганна
Номер патенту: 65725
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Іванов Володимир Миколайович, Тарасов Ілля Сергійович, Арсентьєв Іван Микитович, Бєляєв Олександр Євгенович, Шеремет Володимир Миколайович, Бобиль Олександр Васильович, Новицький Сергій Вадимович, Конакова Раїса Василівна, Ковтонюк Віктор Михайлович, Кудрик Ярослав Ярославович, Веремійченко Георгій Микитович, Мілєнін Віктор Володимирович
МПК: H01L 21/66
Мітки: діодів, якості, контакту, катодного, ганна, спосіб, контролю
Формула / Реферат:
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів Ганна, який полягає в тому, що на напівпровідниковій пластині формують омічні контакти, за допомогою зондового блока, який дозволяє пропускати струм через досліджувану мезаструктуру і закорочені сусідні мезаструктури, вимірюють ВАХ (вольт-амперні характеристики), прикладаючи до досліджуваної мезаструктури імпульси напруги з послідовно зростаючою амплітудою однієї і іншої полярності, з ВАХ...