Тарасов Ілля Сергійович
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів ганна
Номер патенту: 65725
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Мілєнін Віктор Володимирович, Бобиль Олександр Васильович, Веремійченко Георгій Микитович, Конакова Раїса Василівна, Арсентьєв Іван Микитович, Тарасов Ілля Сергійович, Ковтонюк Віктор Михайлович, Кудрик Ярослав Ярославович, Шеремет Володимир Миколайович, Новицький Сергій Вадимович, Бєляєв Олександр Євгенович, Іванов Володимир Миколайович
МПК: H01L 21/66
Мітки: контакту, катодного, якості, діодів, контролю, ганна, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів Ганна, який полягає в тому, що на напівпровідниковій пластині формують омічні контакти, за допомогою зондового блока, який дозволяє пропускати струм через досліджувану мезаструктуру і закорочені сусідні мезаструктури, вимірюють ВАХ (вольт-амперні характеристики), прикладаючи до досліджуваної мезаструктури імпульси напруги з послідовно зростаючою амплітудою однієї і іншої полярності, з ВАХ...