Бобиль Олександр Васильович
Спосіб створення омічного контакту до inp та gaas
Номер патенту: 83664
Опубліковано: 25.09.2013
Автори: Бобиль Олександр Васильович, Конакова Раїса Василівна, Бєляєв Олександр Євгенович, Кудрик Ярослав Ярославович, Саченко Анатолій Васильович, Новицький Сергій Вадимович, Іванов Володимир Миколайович
МПК: H01L 21/268
Мітки: створення, спосіб, контакту, омічного
Формула / Реферат:
Спосіб створення омічного контакту до ІnР та GaAs, який включає очищення пластини, на яку у вакуумі в одному технологічному циклі напилюють шари золота, германію, бориду або нітриду тугоплавкого металу та зовнішній контактний шар золота, після чого в інертній атмосфері проводять швидкий термічний відпал всієї структури, який відрізняється тим, що напилюють спочатку шар золота, а потім шар германію однакових товщин, сумарна товщина яких...
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів ганна
Номер патенту: 65725
Опубліковано: 12.12.2011
Автори: Шеремет Володимир Миколайович, Кудрик Ярослав Ярославович, Бобиль Олександр Васильович, Бєляєв Олександр Євгенович, Арсентьєв Іван Микитович, Тарасов Ілля Сергійович, Новицький Сергій Вадимович, Ковтонюк Віктор Михайлович, Іванов Володимир Миколайович, Мілєнін Віктор Володимирович, Веремійченко Георгій Микитович, Конакова Раїса Василівна
МПК: H01L 21/66
Мітки: спосіб, контакту, катодного, контролю, діодів, ганна, якості
Формула / Реферат:
Спосіб контролю якості катодного контакту діодів Ганна, який полягає в тому, що на напівпровідниковій пластині формують омічні контакти, за допомогою зондового блока, який дозволяє пропускати струм через досліджувану мезаструктуру і закорочені сусідні мезаструктури, вимірюють ВАХ (вольт-амперні характеристики), прикладаючи до досліджуваної мезаструктури імпульси напруги з послідовно зростаючою амплітудою однієї і іншої полярності, з ВАХ...