H01L 31/0312 — містить, крім легирующего речовини та інших домішок, тільки з’єднання типу A
Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу
Номер патенту: 97274
Опубліковано: 10.03.2015
Автори: Дуб Максим Миколайович, Бєляєв Олександр Євгенович, Болтовець Микола Силович, Шеремет Володимир Миколайович, Конакова Раїса Василівна, Ральчєнко Віктор Грігорьєвіч, Веремійченко Георгій Микитович
МПК: H01L 23/52, H01L 23/48, H01L 29/40 ...
Мітки: омічна, термостійка, напівпровідникового, приладу, контактна, алмазу, система
Формула / Реферат:
1. Термостійка контактна омічна система до напівпровідникового приладу з алмазу, яка містить в собі контактний шар титану визначеної товщини, який нанесений на поверхню алмазу, бар'єрний антидифузійний шар з тугоплавкого матеріалу оптимальної товщини та контактуючий шар із золота, до якого приєднуються електричні виводи приладу, причому після термічної обробки утворюється проміжний шар карбіду титану, який забезпечує адгезію та низький...