Боскін Олег Осипович
Спосіб змочування підкладки та її очищення від розчину-розплаву при епітаксії з рідинної фази
Номер патенту: 115873
Опубліковано: 10.01.2018
Автори: Єрохін Сергій Юрійович, Цибуленко Вадим Володимирович, Шутов Станіслав Вікторович, Боскін Олег Осипович
МПК: C30B 19/00, H01L 21/20, H01L 21/208 ...
Мітки: очищення, спосіб, розчину-розплаву, епітаксії, змочування, фазі, рідинної, підкладки
Формула / Реферат:
Спосіб змочування підкладки та її очищення від розчину-розплаву при епітаксії з рідинної фази, що полягає у змочуванні підкладки розчином-розплавом, на який діє сила тяжіння, способом зміщення слайдера касети, який утримує підкладку, між комірками, що заповнені розчинами-розплавами, і очищенні підкладки від розчину-розплаву, який відрізняється тим, що при змочуванні на розчин-розплав додатково діють силою Ампера, яку викликають тим, що по...
Спосіб виготовлення високовольтних діодів зі змінною ємністю
Номер патенту: 102197
Опубліковано: 26.10.2015
Автори: Фролов Олександр Миколайович, Деменський Олексій Миколайович, Філіпщук Олександр Миколайович, Шевченко Віктор Васильович, Шутов Станіслав Вікторович, Боскін Олег Осипович
МПК: H01L 21/329, H01L 29/93, H01L 21/31 ...
Мітки: виготовлення, спосіб, змінною, ємністю, діодів, високовольтних
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення високовольтних діодів зі змінною ємністю в епітаксійному шарі першого типу провідності, нанесеному на високолеговану підкладку того ж типу провідності, який включає нанесення на епітаксійний шар нітриду кремнію, першу фотолітографію по нітриду кремнію, формування меза-структури за допомогою травлення кремнію, термічне окислювання, селективне видалення нітриду кремнію над меза-структурами, формування р-n переходу за...
Спосіб отримання епітаксійних шарів з рідинної фази
Номер патенту: 93097
Опубліковано: 25.09.2014
Автори: Цибуленко Вадим Володимирович, Шутов Станіслав Вікторович, Євдокимов Олексій В'ячеславович, Боскін Олег Осипович
МПК: C30B 19/00
Мітки: рідинної, епітаксійних, фазі, спосіб, шарів, отримання
Формула / Реферат:
Спосіб отримання епітаксійних шарів з рідинної фази, що полягає у процесі гомогенізації, виходу на задану температуру, підведенні розчину-розплаву до поверхні робочої підкладки і їх контакті та зниженні температури на задану величину, який відрізняється тим, що контакт робочої підкладки з розчином-розплавом проводять сегментарно по поверхні робочої підкладки за допомогою пристрою сканування.