Тетерьвова Наталія Олексіївна
Кристал напівпровідникового приладу з наскрізною периферійною р-областю
Номер патенту: 2748
Опубліковано: 16.08.2004
Автори: Тетерьвова Наталія Олексіївна, Рачинський Любомир Ярославович, Солодовнік Анатолій Іванович, Полухін Олексій Степанович
МПК: H01L 21/208
Мітки: р-областю, кристал, наскрізною, напівпровідникового, приладу, периферійною
Формула / Реферат:
1. Кристал напівпровідникового приладу з наскрізною периферійною р-областю, який складається з багатошарової структури не менш як з одним горизонтальним р-n переходом, яка оточена ззовні замкненою наскрізною периферійною р-областю на основі перекристалізованого кремнію, що є суміжною з нижньою р-областю і створює з шаром вихідного кремнію вертикальний р-n перехід, а також з верхнього і нижнього контактів і замкненої області пасивації...
Спосіб виготовлення кристалу кремнієвого напівпровідникового приладу з відокремлюючими областями
Номер патенту: 45871
Опубліковано: 15.04.2002
Автори: Зуєва Тетяна Костянтинівна, Солодовнік Анатолій Іванович, Копаєва Ольга Вікторівна, Тетерьвова Наталія Олексіївна, Полухін Олексій Степанович, Рачинський Любомир Ярославович
МПК: H01L 21/383, H01L 21/22
Мітки: спосіб, виготовлення, напівпровідникового, відокремлюючими, областями, кремнієвого, кристалу, приладу
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення кристала кремнієвого напівпровідникового приладу з периферійними відокремлюючими областями, який включає формування на плоскій поверхні підложки n-типу провідності маскувального покриття і зон металу – розчинника на основі алюмінію відповідно до конфігурації відокремлюючих областей, видалення маскувального покриття, занурення і термоміграцію зон крізь підложку у вакуумі, створення за допомогою дифузії і, в разі...