Патенти з міткою «відокремлюючими»

Номер патенту: 53903

Опубліковано: 17.02.2003

Автори: Полухін Олексій Степанович, Солодовнік Анатолій Іванович, Зуєва Тетяна Костянтинівна

МПК: H01L 21/22

Мітки: кристалів, кремнієвих, напівпровідникових, спосіб, областями, приладів, виготовлення, відокремлюючими

Формула / Реферат:

1.Спосіб виготовлення кристалів кремнієвих напівпровідникових приладів з відокремлюючими p+ областями, що включає створення в кремнієвій підкладці n-типу випрямних плоских р-n переходів дифузією, формування відокремлюючих p+ областей термоміграцією линійних зон на основі алюмінію, яка супроводжується дифузією алюмінію з пари в поверхню підкладки, створення інжектуючих р-n переходів, наступну однобічну пасивацію випрямних р-n переходів,...

Номер патенту: 45871

Опубліковано: 15.04.2002

Автори: Солодовнік Анатолій Іванович, Зуєва Тетяна Костянтинівна, Тетерьвова Наталія Олексіївна, Копаєва Ольга Вікторівна, Рачинський Любомир Ярославович, Полухін Олексій Степанович

МПК: H01L 21/383, H01L 21/22

Мітки: відокремлюючими, виготовлення, областями, спосіб, кристалу, кремнієвого, приладу, напівпровідникового

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення кристала кремнієвого напівпровідникового приладу з периферійними відокремлюючими областями, який включає формування на плоскій поверхні підложки n-типу провідності маскувального покриття і зон металу – розчинника на основі алюмінію відповідно до конфігурації відокремлюючих областей, видалення маскувального покриття, занурення і термоміграцію зон крізь підложку у вакуумі, створення за допомогою дифузії і, в разі...

Номер патенту: 41209

Опубліковано: 15.08.2001

Автори: Семенов Олег Сергійович, Полухін Олексій Степанович

МПК: H01L 21/208

Мітки: виготовлення, епітаксіальних, областями, структур, спосіб, кремнієвих, периферійними, відокремлюючими, матричних

Формула / Реферат:

1.Спосіб виготовлення кремнієвих епітаксіальних матричних структур і периферійними відокремлюючими областями, який включає підготовку пластини-джерела і підкладки, утворення відокремлюючих р+областей, формування зони капілярним втягуванням металу-розчинника на основі алюмінію в щілину між пластиною-джерелом і підкладкою, перекристалізацію пластини-джерела зоною, що просувається в полі градієнта температури під час термоміграції, і...