Спосіб виготовлення вивідної рамки для інтегральної схеми

Способ изготовления выводной рамки для интегральной схемы, включающий рихтовку ленты из железоникелевого сплава, вырубку выводной рамки из ленты, отжиг рамки в среде водорода, металлизацию траверс внешних выводов и кристаллодержателя осаждением алюминия, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что перед осаждением алюминия осаждают слой редкоземельного металла о С > ел о 6454 дом трансферного литья с применением и качество схем, герметизируемых пластпресс-композиций. После выполнения опемассой по второму варианту осуществляют рации термотренировки, вырубки рамки по следующим образом. После обезжиривания контуру, просечки перемычек и гибки выворамок выводных производят двухслойное напыление пленок: пленка переходного или 5 дов производят горячее лужение выводов и технологические отбраковочные испытания; редкоземельного элемента и пленка алюмитермоциклирование, электротермотренио ровку, проверку электропараметров при пония. Толщина первого слоя 100-200 А и втовышенной и нормальной температуре. рого слоя 1,2-1,4 мкм. Данный способ позволяет за счет устранения диффузии эле- \Q Вариант 2 ментов материала рамки выводной в алюмиОтличается от варианта 1 только процесниевое покрытие значительно повысить сом локальной металлизации рамки выводкоррозионную стойкость и качество БИС за ной алюминием В данном случае счет увеличения разрывного усилия ТКС. используется двухслойная пленка, переходТехнологический процесс локальной ме- j 5 ный (редкоземельный) металл + алюминий. таллизации рамки выводной алюминием, о легированным переходным или редкозеТолщина пленки нижнего соя 100-200 А и мельным элементом по первому варианту второго соя 1,2-1,4 мкм Процесс металлизаили двухслойной пленкой - переходной (реции осуществляют путем последовательного дкоземельный) элемент + алюминий по вто- 20 распыления с двух магнетронов. рому варианту, осуществляют на установке Введение слоя переходного (редкоземагнетронного распыления. Для напыления мельного) металла между материалом траможет использоваться и другой тип оборудоверс рамки выводной и локальным вания, обеспечивающий высокую скорость алюминием устраняет диффузию элементов распыления. 25 материала рамки (железа) в алюминиевое покрытие при термоколрессионной сварке, Примеры выполнения данного способа. значительно повышая коррозионную стойВариант 1. кость ТКС и их разрывные усилия. Изготовление рамки выводной и на его основе БИС, герметизируемых пластмассой, осуществляют следующим образом. После зо Все остальные операции до и после лорихтовки ленты из железо-никелевого сплакального нанесения алюминия осуществлява толщиной 0,28 мм производится вырубка ются аналогично как в варианте 1. выводной рамки Затем производится обезИзготовленные таким образом рамки жиривание и отжиг в водороде при темперавыводные, а на их основе БИС. герметизирутуре 700°С в течение 0,5 часа. Для 35 емых пластмассой, показали высокую коробеспечения плоскостности выводов-трарозионную стойкость и практически верс выполняется операция подчеканки траисключают обрывы ТКС золотых перемычек верс с последующим обезжириванием на траверсах при герметизации БИС пластрамок выводных. Локальная металлизация массой. Испытания БИС на коррозионную рамки выводной алюминием, легированным ^0 стойкость проводилось в паровой бане при переходным металлом 1-3 вес.%, напритемпературе 95°С в течение 96 часов. Размер, титаном осуществляют магнетронным рывные усилия ТКС увеличились с 8-10 распылением составной мишени алюминийграмм до 10-М4 грамм для золотого микротитан. провода 0 40 мкм, т.е. в среднем на 20После подклейки через клеевую пленку 45 35%. Процент выхода годных БИС увеличился по сборке на 3-4% и дает вози кристалла БИС через токопроеодящий можность повысить качество и надежность клей производится термокомпрессионное БИС. присоединение выводов Герметизация изделий пластмассой осуществляется мето Упорядник С.Новосядлий . Замовлення 628 Техред М.ГИоргентал Коректор Тираж Підписне Державне патентне відомство України, 254655. ГСП, Київ-53, Львівська пл , 8 Виробничо-видавничий комбінат "Патент", м. Ужгород, вул Гагаріна, 101