Єфремов Олексій Олександрович
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії
Номер патенту: 63399
Опубліковано: 15.01.2004
Автори: Литовченко Володимир Григорович, Єфремов Олексій Олександрович, Євтух Анатолій Антонович, Рассамакін Юрій Володимирович, Попов Валентин Георгійович, Саріков Андрій Вікторович, Клюй Микола Іванович, Костильов Віталій Петрович
МПК: H01L 21/265, H01L 21/322
Мітки: монокристалічному, рекомбінаційно-активних, спосіб, гетерування, полікристалічному, домішок, кремнії
Формула / Реферат:
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії, що включає нанесення на пластину кремнію шару алюмінію та подальший термічний відпал в нейтральному середовищі, який відрізняється тим, що на тильній стороні пластини попередньо формують шар пористого кремнію товщиною 0,5-10 мкм, на який наносять шар алюмінію товщиною 0,3-1 мкм, а термічний відпал проводять в нейтральному середовищі при...