Патенти з міткою «полікристалічному»
Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії
Номер патенту: 53507
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Воляр Роман Миколайович, Реков Юрій Васильович, Єгоров Сергій Геннадійович, Червоний Іван Федорович
МПК: C30B 13/00
Мітки: кремнії, вмісту, полікристалічному, бору, спосіб, визначення
Формула / Реферат:
Спосіб визначення вмісту бору в полікристалічному кремнії, що включає вирізку і шліфування заготовки з початкового полікристалічного кремнієвого стрижня, хімічне травлення і відмивання її деіонізованою водою, сушіння заготовки, проведення безтигельної зонної плавки, вимірювання на плавленому стрижні питомого електричного опору, який відрізняється тим, що безтигельну зонну плавку проводять в дві стадії, після кожної вимірюють в контрольних...
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії
Номер патенту: 63399
Опубліковано: 15.01.2004
Автори: Єфремов Олексій Олександрович, Євтух Анатолій Антонович, Клюй Микола Іванович, Литовченко Володимир Григорович, Костильов Віталій Петрович, Саріков Андрій Вікторович, Рассамакін Юрій Володимирович, Попов Валентин Георгійович
МПК: H01L 21/322, H01L 21/265
Мітки: спосіб, полікристалічному, монокристалічному, рекомбінаційно-активних, домішок, кремнії, гетерування
Формула / Реферат:
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії, що включає нанесення на пластину кремнію шару алюмінію та подальший термічний відпал в нейтральному середовищі, який відрізняється тим, що на тильній стороні пластини попередньо формують шар пористого кремнію товщиною 0,5-10 мкм, на який наносять шар алюмінію товщиною 0,3-1 мкм, а термічний відпал проводять в нейтральному середовищі при...