Патенти з міткою «рекомбінаційно-активних»
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії
Номер патенту: 63399
Опубліковано: 15.01.2004
Автори: Костильов Віталій Петрович, Попов Валентин Георгійович, Єфремов Олексій Олександрович, Литовченко Володимир Григорович, Клюй Микола Іванович, Євтух Анатолій Антонович, Саріков Андрій Вікторович, Рассамакін Юрій Володимирович
МПК: H01L 21/322, H01L 21/265
Мітки: монокристалічному, домішок, кремнії, спосіб, рекомбінаційно-активних, гетерування, полікристалічному
Формула / Реферат:
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії, що включає нанесення на пластину кремнію шару алюмінію та подальший термічний відпал в нейтральному середовищі, який відрізняється тим, що на тильній стороні пластини попередньо формують шар пористого кремнію товщиною 0,5-10 мкм, на який наносять шар алюмінію товщиною 0,3-1 мкм, а термічний відпал проводять в нейтральному середовищі при...
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в кремнії
Номер патенту: 37744
Опубліковано: 15.05.2001
Автори: Горбулик Володимир Іванович, Попов Валентин Георгійович, Мельник Віктор Павлович, Клюй Микола Іванович, Романюк Борис Миколайович, Литовченко Володимир Григорович, Марченко Ростислав Іванович
МПК: H01L 21/322, H01L 21/265
Мітки: гетерування, рекомбінаційно-активних, кремнії, домішок, спосіб
Текст:
...Ge товщиною 75-500 нм може застосовуватись термічне, електроннопроменеве або магнетронне напилення. Товщина плівки і енергія імплантації іонів інертного газу розраховуються виходячи з умови, щоб середній проекційний пробіг іонів складав ~0,8 товщини плівки германію, чим досягається необхідний ефект перемішування. Температура відпалу знаходиться в інтервалі 900-950°С, час відпалу - не менше 30 хв, що з умовлене необхідністю забезпечення...