Рассамакін Юрій Володимирович
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії
Номер патенту: 63399
Опубліковано: 15.01.2004
Автори: Попов Валентин Георгійович, Рассамакін Юрій Володимирович, Саріков Андрій Вікторович, Литовченко Володимир Григорович, Євтух Анатолій Антонович, Костильов Віталій Петрович, Єфремов Олексій Олександрович, Клюй Микола Іванович
МПК: H01L 21/265, H01L 21/322
Мітки: домішок, рекомбінаційно-активних, полікристалічному, гетерування, монокристалічному, кремнії, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб гетерування рекомбінаційно-активних домішок в монокристалічному та полікристалічному кремнії, що включає нанесення на пластину кремнію шару алюмінію та подальший термічний відпал в нейтральному середовищі, який відрізняється тим, що на тильній стороні пластини попередньо формують шар пористого кремнію товщиною 0,5-10 мкм, на який наносять шар алюмінію товщиною 0,3-1 мкм, а термічний відпал проводять в нейтральному середовищі при...