Спосіб травлення ферит-гранатових кристалів

Спосіб травлення ферит-гранатових кристалів, що включає травлення бракованого феритгранатового шару до повного його видалення, який відрізняється тим, що підкладку з гадолінійгалієвого граната піддають травленню у відпрацьованому розчині-розплаві в який додають окисли ВаО і В2О3, при цьому близько до 1 - при температурі 760-790°С і швидкості підбурення 0,40,6мкм/хв. (19) (21) u200506300 (22) 25.06.2005 (24) 15.02.2006 (46) 15.02.2006, Бюл. № 2, 2006 р. (72) Дубінко Сергій Володимирович, Недвига Олександр Степанович, Прокопов Анатолій Романович, Шумілов Олексій Геніович (73) ТАВРІЙСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ ІМ.В.І.ВЕРНАДСЬКОГО 3 12441 4 Травлення ЕПФГ і збереження вихідної морпадку параметр =1,04, що забезпечує надійне фології підкладки здійснюється при розчинення ЕПФГ. Xср.підклад Проведення процесу підбурення здійснюється X близьке до 1. при 780÷790°С. Час травлення визначається товср.р р щиною бракованого феріт-гранатового шару при Близькість дробі до одиниці свідчить про швидкості підбурення 0,5-0,6мкм/хв. буферний характер середовища, у якій зведені до Приклад 2 мінімуму теплові ефекти процесу розчинення (знаЕпітаксіальні плівки складу чення ентальпії розчинення H мінімально). РоBi1.0Lu2.0Fe4.0Ga1.0O12 вирощені на підкладках ГГГ із боча температура процесу підбурення в межах РР наступного складу (мольні %): 750÷800°С, швидкість підбурення ), 0,4-0,6мкм/хв. Lu2O3 0,49 Значення ср для гадоліній-галієвого граната Fe2O3 8,24 Gа2О3 1,00 ср дорівнює 5,80 ев, а епфг - для феритів-гранатів Рb 61,2 Вi2O3 29,1 більше 6 ев. Таким чином, довівши ср відпрацьоср ваного розчину-розплаву до значень, що не переепфг =6,121 ев, середня розрахункова орбівищують 5,8 ев, ми одержимо ефект виборчого тальна електронегативиість розчину-розплаву бутравлення ЕПФГ зі збереженням вихідної морфоде дорівнює 6,06 ев. Після додавання в РР 5% логії підкладки. окисі бору й 53,4% окису барію розрахункова сеПриклад 1 редня орбітальна електронегативність буде дорівЕПФГ складу Y3Fe5O12 на підкладках ГГГ були нює 5.8 ев і =1,06. Підбурення ЕПФГ вироблявирощені з розчину-розплаву (РР) наступного ється при 760°С÷770°С. складу (мольні %): Перевагою способу, що заявляє, є те, що для Y2 O3 0,76 регенерації підкладок використається те ж устатFе2О3 9,00 кування й розплав, які були використані для нароРb 84,84 щування ЕПФГ, при незначних змінах складу розВ2 О3 5,4 плаву. При підбуренні бракованих ЕПФГ матеріал Середня орбітальна електронегативність розепітаксіальної плівки переходить назад у розплав чину-розплаву, що залишився у вихідному виді і, отже, не губиться безповоротно. Якість (морфобуде дорівнює 5,9 ев. Модифікація РР шляхом логія) поверхні регенерованих підкладок у більшовведення в його склад окисла барію в кількості 13 сті випадків краще морфології поверхні підкладок мол % дозволяє знизити електронегативність РР минуле хіміко-механічне полірування. На поверхні до (електронегативність залізоcp.pp =5,8ев, регенерованих підкладок при збільшенні 200 не ітрієвого граната становить 6,02 ев). У цьому виспостерігається ні однієї світної крапки або ризики. Комп’ютерна верстка А. Рябко Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601