Пристрій для виготовлення фаски на круглих пластинах

(19) RU (51)5 HOI по патентам и товарным знакам 1 (21)3594626/25 (22)2705.83 (46)150634 Boa №11 (71) Всесоюзный научно-исследовательский, лроектно-конструкторский и технологический институт силовых полупроводниковых устройств "ВНИИпреобразователь" (72) Тетерьвов Р.И, Самойленко ЛА, Гопкало АГ; Власов RB научно-исследовательский институт силовой электроники "Преобразователь" (56) Заявка Японии N 53-42661. кл И ОН 21/304, 1978. Техническое описание станка модели 4Р-70 фирмы "Siemens" ФРГ, 1979 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ vn ' * (57) 1123474 Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах Известно устройство для изготовления фаски на круглых пластинах, содержащее столик с закрепленной на нем обрабатываемой пластиной и инструмент конической формы, внутренняя поверхность которого оснащена абразивсодержащим пэирытием, причем столик и инструмент выполнены с возможностью вращения один относительного другого [1] Недостатком этого устройства является низкая эффективность обработки пластин маленького диаметра, так как в этом случае мала линейная скорость инструмента в зоне контакта с пластиной, что увеличивает время обработки и приводит к быстрому износу инструмента. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для изготовления фаски на круглых пластинах, содержащее притир, способный вращаться вокруг своей оси, головку с наклонными цилиндрическими отверстиями, цилиндрические держатели обрабатываемых пластин, способные входить в отверстия головки, и привод вращения держателей [2]. Недостатком этого устройства является невозможность регулирования величины усилия на обрабатываемую пластину, вследствие чего при достаточно высокой скорости обработки качество пластин ухудшается изза наличия сколов и трещин. Цель изобретения - повышение качества обработки пластин за счет обеспечения возможности регулирования усилия прижатия пластины к притиру в процессе формирования фаски. Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для изготовления фаски на круглых пластинах, содержащем притир, имеющий возможность вращаться вокруг своей оси, головку с наклонными цилиндрическими отверстиями, стальные цилиндрические держатели обрабатываемых пластин, имеющие возможность входить в отверстия головки и привод вращения держателя, каждое цилиндрическое отверстие снабжено подвижной немагнитной втулкой, соосно с которой в верхней и нижней частях головки установлены электромагниты. На чертеже изображено устройство для изготовления фаски на круглых пластинах 15 20 25 30 35 45 Устройство состоит из го/ювки 1, электромагнитов 2 и 3, держателей 4, немагнитных втулок 5, притира 6 и обрабатываемого изделия 7 Устройство работает следующим образом Держатели 4 с обрабатываемым изделием 7 устанавливают во втулки 5 до касания изделием 7 шлифовального притира 6. Затем включают одновременно подачу абразивной суспензии, приводы вращения притира и держателей и нижние электромагниты 2. Таким образом сошлифовывание фаски производится не только под действием веса держателя 4, но и за счет усилия втягивания его магнитным полем, создаваемым электромагнитом 2 и направленным вниз, на прижим к притиру. В таком режиме нагружения изделие обрабатывают определенное время, отрабзтываемое экспериментально для каждого типа изделия, в течение которого происходит основной сьем обрабатываемого полупроводникового материала. По истечении его производят отключение нижних электромагнитов 2 (автоматически, например, с помощью реле времени) и на этой финишной стадии обработку изделий производят под действием силы тяжести держателя 4 (в режиме выхаживания с небольшой нагрузкой) также в течение заданного времени По окончании его обработка заканчивается, держатель 4 вынимают, снимают изделие 7, и далее цикл повторяется. Возможен второй вариант обработки в режиме выхаживания, когда силу тяжести держателя 4 можно уменьшить, включая верхний электромагнит 3 в момент отключения нижнего электромагнита 2. Создаваемое им магнитное поле воздействует на держатель 4 так же, как и нижнее, только сила направлена в обратном направлении (вверх), частично (в заданной степени) уменьшая воздействие силы тяжести держателя 4 на изделие 7 При обоих описанных режимах выхаживания обработку можно заканчивать автоматическим отводом держателей вверх, включая верхние электромагниты в режиме 50 создания или магнитного поля, достаточного для преодоления силы тяжести держателя, самого изделия и силы трения при его перемещении во втулке Использование описываемого устрой55 ства позволяет повысить выход годных из* делий на 3% при одновременном улучшении их электрических параметров 1123474 Формула ность входить в отверстия головки, и привод вращений держателей, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, каждое цилиндрическое отверстие снабжено подвижной немагнитной втулкой, соосно с которой в верхней и нижней частях головки установлены электромагниты. изобретения УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКП НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее притир, имеющий возможность вращаться вокруг своей оси, головку с наклонными цилиндрическими отверстиями, стальные цилиндрические держатели обрабатываемых пластин, имеющие возмож10 Редактор Заказ 374 СоставительТехред М.Моргентал Корректор Н.Милюкова Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101