Установка для рідкофазної епітаксії

Установка для рідкофазної епітаксії, що містить касету в нагрівальному вузлі, яка має багато комірок, вікно у вигляді отвору над підкладкою, 3 14302 4 ня крізь касету уздовж комірок для підведення підстинки 11, штуцера 12, графітового вкладиша 13, кладки в комірки, і термопару, комірки знаходяться що формує канали відведення газу-охолоджувача у слайдері, а підкладка розміщена у нерухомій 14 та утримує підкладку 15. Слайдер переміщуоснові касети, в якій під підкладкою розташований ється за допомогою штока 16. теплообмінник, що складається з кварцової пласУстановка працює наступним чином. тини та системи відвідних каналів, до якого приєдУ комірках для розчинів-розплавів 6 розміщунаний газопровід у вигляді кварцової трубки, який ються вихідні матеріали для розчинів-розплавів 7, забезпечує можливість подання ззовні реактора причому жодна з комірок б не розташована над газоподібного охолоджувача. підкладкою 15. Після компонування нагрівального На відміну від прототипу у запропонованій ковузла 2 і процесу гомогенізації розчинів-розплавів, рисній моделі у слайдері, що забезпечує зміну при температурі, що контролюється термопарою комірок з розчинами-розплавами, замість підклад3, переміщенням слайдера 5 за допомогою штока ки розташовані саме комірки з розчинами16 виконують сполучення першого розчинурозплавами, а підкладка розташована у нерухомій розплаву з підкладкою 15. За допомогою газопрочастині касети. Така конструкція надає, змогу не воду 9 ззовні у теплообмінник через штуцер 12 змінювати положення підкладки відносно установконтрольовано подається газ-охолоджувач, що ки при зміні розплаву-розчину і, як наслідок, застоохолоджує підкладку 15 та виходить через систему совувати теплопоглинач-охолоджувач постійно в каналів 14. При цьому кварцова пластинка 11 заодному і тому ж самому місці установки, що не безпечує спрямування потоку газу уздовж підкладпотребує додаткового прецизійного позиціонуванки, що значно покращує теплообмін між підкладня теплопоглинача-охолоджувача відносно устакою та газом-охолоджувачем. Після проведення новки. Також у запропонованій корисній моделі охолодження газ перекривають і зсувають слайзастосовується газопровід у вигляді кварцової дер 5 таким чином, щоб над підкладкою опинилася трубки, що надає змогу використовувати газоподінаступна комірка з потрібним розчином-розплавом бний охолоджувач, що контрольовано подається і повторюють операцію охолодження. По закінченззовні реактора і не обмежений у кількості. Реаліні процесу слайдер розмішують таким чином, щоб зація теплообмінника під підкладкою за допомогою підкладка 15 не мала контакту з жодною з комірок кварцової пластини та системи відвідних каналів 6. значно покращує теплообмін між газоподібним Таким чином запропонована корисна модель охолоджувачем та підкладкою. дозволяє вирощувати багатокомпонентні шари з Суть корисної моделі подана на фіг.1, 2. можливістю використання для цього зовнішнього Установка складається з касети 1, що знахогазоподібного охолоджувача, та, завдяки відсутнодиться у нагрівальному вузлі 2, в якому встановсті переміщення підкладки відносно установки, не лена термопара 3. Касета 1 складається з основи потребує зміни місця використання теплопоглина4, слайдера 5, що містить комірки 6 з розчинамича-охолоджувача при зміні використовуваної комірозплавами 7, упорів 8, газопроводноі кварцової рки з розчином-розплавом. трубки 9, утримувачів слайдеру 10, кварцової пла Комп’ютерна верстка Г. Паяльніков Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601