Спосіб визначення глибини та товщини внутрішнього шару тришарового пакета

Номер патенту: 51439

Опубліковано: 12.07.2010

Автор: Богданов Олексій Вікторович

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Спосіб визначення глибини та товщини внутрішнього шару тришарового пакета, який полягає у наступному: опромінюють пружний пакет лазерним випромінюванням з гармонійною амплітудною модуляцією та, за допомогою безконтактного приймача, вимірюють амплітуду та фазу пружних коливань поверхні, який відрізняється тим, що вимірювання здійснюють в два етапи – на двох різних частотах амплітудної модуляції; отримані результати вимірювань піддають подальшій чисельній обробці, що полягає у визначенні нулів матриці крайових умов, що дає однозначне значення глибини залягання та товщини внутрішнього шару.

2. Спосіб визначення глибини та товщини внутрішнього шару тришарового пакета, який відрізняється тим, що за безконтактний приймач використовують лазерний інтерферометр.

Текст

1. Спосіб визначення глибини та товщини внутрішнього шару тришарового пакета, який полягає у наступному: опромінюють пружний пакет лазерним випромінюванням з гармонійною амплітудною модуляцією та, за допомогою безконтактного приймача, вимірюють амплітуду та фазу пружних 3 51439 використаний для продовження виробництва інтегральних схем. Для виміру амплітуди та фази пружних коливань використовується лазерний інтерферометр. Дослідження здійснюють за допомогою лазеру ЛГ-38, випромінювання якого модулюється акустооптичним модулятором МЛ-201 (напруга керування подасться з генератора Г3-75) і крізь оптичну систему спрямовується на зразок, якій знаходиться на двокоординатному столі. Використовується фотодіод для стабілізації частоти обертання модулятора, контролю інтенсивності випромінювання лазера вольтметром та вимірювання частоти модуляції частотоміром. Особливість використаного лазерного інтер Комп’ютерна верстка А. Крулевський 4 ферометру, для реєстрації пружних коливань, є наступне: було використано прецизійне суміщення збуджуючого та вимірювального (допоміжного) променів, які фокусуються до діаметра в декілька мікрометрів. За допомогою самописця була можлива реєстрація залежності амплітуди ФТА перетворення від часу. Отримані результати вимірювання амплітуди та фази механічних коливань пакету, для двох різних частот амплітудної модуляції, піддаються чисельному аналізу, який полягає в визначенні нулів матриці крайових умов. Співпадіння нулів дають однозначні значення для глибини залягання та товщини внутрішнього шару. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Method for determination of depth and thickness of inner layer of three-layer pack

Автори англійською

Bohdanov Oleksii Viktorovych

Назва патенту російською

Способ определения глубины и толщины внутреннего слоя трехслойного пакета

Автори російською

Богданов Алексей Викторович

МПК / Мітки

МПК: G01B 9/02

Мітки: визначення, глибини, спосіб, пакета, внутрішнього, товщини, шару, тришарового

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-51439-sposib-viznachennya-glibini-ta-tovshhini-vnutrishnogo-sharu-trisharovogo-paketa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб визначення глибини та товщини внутрішнього шару тришарового пакета</a>

Подібні патенти