Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази
Номер патенту: 73725
Опубліковано: 15.09.2005
Автори: Еванс Джон Дуглас, старший, Брюс Роберт Вілліам, Марікоккі Антоніо Френк
Формула / Реферат
Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал та функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; електронно-променеву пушку (30), що проектує електронний промінь на покривний матеріал (26), розташований у покривній камері (12), розплавлюючи покривний матеріал (26) та випаровуючи його при цьому; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12) в такий спосіб, щоб пари покривного матеріалу (26) осаджувалися на виріб (20); засоби (34) для підтримки субатмосферного тиску у середині покривної камери (12); засоби для визначення підвищеної температури у середині покривної камери (12) та пульт керування (118) для слідкування та коригування здійснення вищевказаних операцій нанесення покриття конденсацією із парової фази, причому пульт керування (118) включає: схему принаймні частини електронно-променевого пристрою (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази та його елементів, яка містить покажчики (120) принаймні деяких елементів електронно-променевого пристрою (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази; візуальні датчики (122), які з'єднані в схемі безпосередньо із покажчиками елементів пристрою та які показують робочий стан елементу, наданого покажчиком (120), з'єднаного із візуальним датчиком (122) та регулятори (124), з'єднані в схемі безпосередньо із покажчиками елементів та із візуальними датчиками, причому кожний регулятор (124) слугує для коригування дій елементу, наданого покажчиком (120), з'єднаного із регулятором (124).
Додаткова інформація
Назва патенту англійськоюAn electron beam physical vapor deposition apparatus for producing a coating
Назва патенту російськоюЭлектронно-лучевое устройство для нанесения покрытия конденсацией из паровой фазы
МПК / Мітки
МПК: H01J 37/305, C23C 14/56, C23C 14/24, C23C 14/30, H01J 37/30, H01J 37/317
Мітки: фазі, електронно-променевий, нанесення, покриття, пристрій, деталь, парової, конденсацією
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/3-73725-elektronno-promenevijj-pristrijj-dlya-nanesennya-pokrittya-na-detal-kondensaciehyu-iz-parovo-fazi.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази</a>
Попередній патент: Спосіб передачі інформації і система для його здійснення
Наступний патент: Спосіб запобігання толерантності до бронхорозширювача, спосіб та композиція для лікування астми та пов’язаних з нею патологій
Випадковий патент: Спосіб діагностики інфікованості контактних осіб по туберкульозу