Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

 Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал та функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; електронно-променеву пушку (30), що проектує електронний промінь на покривний матеріал (26), розташований у покривній камері (12), розплавлюючи покривний матеріал (26) та випаровуючи його при цьому; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12) в такий спосіб, щоб пари покривного матеріалу (26) осаджувалися на виріб (20); засоби (34) для підтримки субатмосферного тиску у середині покривної камери (12); засоби для визначення підвищеної температури у середині покривної камери (12) та пульт керування (118) для слідкування та коригування здійснення вищевказаних операцій нанесення покриття конденсацією із парової фази, причому пульт керування (118) включає: схему принаймні частини електронно-променевого пристрою (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази та його елементів, яка містить покажчики (120) принаймні деяких елементів електронно-променевого пристрою (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази; візуальні датчики (122), які з'єднані в схемі безпосередньо із покажчиками елементів пристрою та які показують робочий стан елементу, наданого покажчиком (120), з'єднаного із візуальним датчиком (122) та регулятори (124), з'єднані в схемі безпосередньо із покажчиками елементів та із візуальними датчиками, причому кожний регулятор (124) слугує для коригування дій елементу, наданого покажчиком (120), з'єднаного із регулятором (124).

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

An electron beam physical vapor deposition apparatus for producing a coating

Назва патенту російською

Электронно-лучевое устройство для нанесения покрытия конденсацией из паровой фазы

МПК / Мітки

МПК: H01J 37/305, C23C 14/56, C23C 14/24, C23C 14/30, H01J 37/30, H01J 37/317

Мітки: фазі, електронно-променевий, нанесення, покриття, пристрій, деталь, парової, конденсацією

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/3-73725-elektronno-promenevijj-pristrijj-dlya-nanesennya-pokrittya-na-detal-kondensaciehyu-iz-parovo-fazi.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази</a>

Подібні патенти