Спосіб виготовлення кремнієвих пластин з мультикристалічного кремнію

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Спосіб виготовлення кремнієвих пластин з мультикристалічного кремнію, що включає розрізання зливка мультикристалічного кремнію на блоки та різання блока на пластини, який відрізняється тим, що додатково кожну торцеву сторону пластини обрізають лазерним різанням на відстані, не меншій за 0,1 мм.

2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що кожну торцеву сторону пластини обрізають лазерним різанням на відстані 0,1-10 мм.

Текст

1. Спосіб виготовлення кремнієвих пластин з 3 44908 блок піддають різанню на пластини. З кожної торцевої сторони пластини видаляють по периметру край не менший 0,1мм лазерною різкою. Нижче наведений приклад, що демонструє але не обмежує корисну модель. Приклад Зливок мультикристалічного кремнію вирощують у кварцовому тиглі квадратної форми розміром 690x690x420. Зливок вирощували методом спрямованої кристалізації кремнію знизу вверх в атмосфері аргону. Зростання зливку проводили зі швидкістю 1,5-2,5см/год. Охолоджений після кристалізації зливок розміщували на брикетері і розрізали на 16 блоків розміром 160x160x260. Кожний Комп’ютерна верстка А. Крулевський 4 блок розрізали за допомогою за допомогою багатодротового різака. Після відмивання і сушки з кожної торцевої сторони пластини за допомогою лазерної різки на установці LCS-300 (Synova) видаляють по периметру край по 2мм. Отримані кремнієві пластини з мультикристалічного кремнію зі стороною квадрата 156мм товщиною 160мкм, вихід придатних пластин - 51пл/кг. Торцева поверхня не має тріщин та сколів. Запропонований спосіб дозволяє отримати кремнієві пластини з мультикристалічного кремнію з товщиною 160мкм і нижче (до 100мкм) з високим виходом придатних пластин. Підписне Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Method for production of silicon plates from multicrystal silicon

Автори англійською

Berinhov Serhii Borysovych, Sukhostavets Volodymyr Markovych

Назва патенту російською

Способ изготовления кремниевых пластин из мультикристаллического кремния

Автори російською

Берингов Сергей Борисович, Сухоставец Владимир Маркович

МПК / Мітки

МПК: C30B 29/06, C30B 33/00

Мітки: мультикристалічного, пластин, кремнієвих, виготовлення, спосіб, кремнію

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-44908-sposib-vigotovlennya-kremniehvikh-plastin-z-multikristalichnogo-kremniyu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб виготовлення кремнієвих пластин з мультикристалічного кремнію</a>

Подібні патенти