Спосіб відбраковки ненадійних кмон інтегральних схем

1. Способ отбраковки ненадежных КМОП интегральных схем, включающий пропускание стабильного тока между одним из питающих выводов, объединенным с входными выводами интегральной схемы, и другим питающим выводом интегральной схемы, измерение напряжения между питающими выводами интегральной схемы, отбраковку интегральной схемы по результатам измерений, о т л и ч а ю щ и й с я Изобретение относится к области контроля качества интегральных схем (ИС) и может быть использовано при изготовлении и применении высоконадежных комплиментарных ИС (КМОП ИС). Известен способ отбраковки ненадежных КМОП ИС, включающий задание на испытуемые приборы электрических воздействий, измерения информативных параметров и отбраковку по результатам из тем, что измеряют напряжение между питающими выводами интегральной схемы при двух различных значениях стабильного тока И. І2, удовлетворяющих соотношениям: И > Іут.тах, І2 < Іл п тіп. где Іуттах - максимальное значение тока утечки; Іл n.min - начальное значение тока лавинного процесса, а отбраковывают интегральные схемы, не удовлетворяющие условию: І2-И О 9783 Известен способ отбраковки ненадежных КМОП ИС, включающий пропускание стабильного тока между одним из питающих выводов, объединенным с входными выводами интегральной схемы, и другим пи- 5 тающим выводом интегральной схемы, измерения напряжения между питающими выводами и отбраковку ИС по результатам измерений [2]. Этот способ не позволяет учитывать ха- 10 рактерные для ненадежных ИС значения пробивного напряжения и его изменение при различных значениях обратного тока. Выявить ненадежные приборы при его помощи возможно по наличию деградаций после 15 проведения электротермотренировки, что трудоемко и недостаточно технологично. Более технологичной и эффективной является отбраковка по ВАХ, которую возможно реализовать путем замера определенных 20 параметров ИС. В основу изобретения поставлена задача усовершенствования процесса путем подбора токов замера и критериев отбраковки, за счет чего повышается достовер- 25 ность результатов, эффективность и технологичность отбраковки, что, в конечном итоге, позволяет улучшить качество выпускаемых микросхем. Поставленная задача решается тем, что 30 в способе отбраковки ненадежных КМОП интегральных схем, который содержит операции пропускания стабильного тока между одним из питающих выводов, объединенным с входными выводами интегральной 35 схемы, и другим питающим выводом интегральной схемы, измерения напряжения между питающими выводами интегральной схемы, отбраковку интегральной схемы по результатам измерений, согласно изобрете- 40 нию, замер напряжения между питающими выводами ИС производят при двух различных значениях стабильного тока И, І2, удовлетворяющих соотношениям: И > Іут.шах, 45 І2 < Іл.п mln где Іуттах - максимальное значение тока утечки; Ifl.n.mfn - начальное значение тока лавинного процесса, 50 а отбраковывают интегральные схемы, не удовлетворяющие условию: І2-И < 0,2, где ІІ2, Ui - измеренные значения напряжения в милливольтах при значениях тока соответственно І2, И в микроамперах. 55 Значения токов выбирают из соотношения: И = 0,1 І2. На фиг.1 приведена идеальная ВАХ ИС, у которых пробивное напряжение во всем диапазоне задаваемых токов соответствует норме. На фиг.2 приведена ВАХ, имеющая в нижней ветви наклон Іут max И І2 < Іл.п.тіп. Достаточная точность результатов может быть получена если стабильные токи будут выбираться из соотношения1 И ^ 0 , 1 І2. Это обусловлено тем, что при соотношении токов менее 1:10 точность получаемых результатов уменьшается за счет уменьшения 9783 Затем интегральные схемы подвергазначений Л и и Лі и роста величины погрешлись испытаниям на надежность. ности, вносимой измерительными приборами. Данные сведены в таблицу. Пример: на серийном измерительном Как видно из таблицы, ИС со значением оборудовании "Истина" производились tga больше 0,2 следует забраковывать как дифференциальные измерения и осуществненадежные, а соотношение величин сталялась отбраковка ненадежных ИС серии бильных токов замера целесообразнее вы564. Для этого через отбраковываемые ИС бирать в пределах 1:10 и выше, где граница пропускался стабильный ток (10 и 100 мкА) и фиксировалось пробивное напряжение. 10 между удовлетворительной и неудовлетворительной надежностью не столь ярко выЗатем вычислялось отношение градиента ражена чем при соотношениях менее 1:10. тока к градиенту пробивного напряжения и производилась отбраковка в соответствии с заданным критерием Технический результат от использова15 ния способа, заключающийся в повышении достоверности отбраковки, достигается за І2-І1