Процес отримання монокристалів напівпровідникових сполук методом горизонтальної зонної перекристалізації

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Процес отримання монокристалів напівпровідникових сполук методом горизонтальної зонної перекристалізації, який складається з етапів попереднього синтезу вихідних матеріалів, подальшого перезавантаження разом з монокристалічною затравкою, затравлювання та зонного вирощування при прямому та зворотному русі зонного нагрівача, який відрізняється тим, що по закінченні кожного з проходів зонний нагрівач переміщують від кінця та початку завантаження на відстань, яка дорівнює ширині розплавленої зони.

Текст

Процес отримання монокристалів напівпровідникових сполук методом 3 32716 4 зонній перекристалізації на відповідній установці. русі зонного нагрівача, який полягає в тому, що по Перекристалізацію проводять при температурі закінченні кожного з проходів зонний нагрівач 729К при швидкості переміщення зонного переміщують від кінця та початку завантажування нагрівача 10мм/год. Перший прохід зонного на відстань, яка дорівнює ширині розплавленої нагрівача після затравлення проводиться від зони. До такого висновку нас привів результат затравки до кінця синтезованого злитка. По його великого об'єму технологічних та фізико-хімічних закінченню зонний нагрівач переміщують від кінця досліджень. Ця обставина в кінцевому рахунку злитку на відстань d, що дорівнює ширині забезпечує запропонованому рішенню необхідний розплавленої зони, яка створюється зонним "винахідницький рівень". нагрівачем. Другий прохід зонного нагрівача Промислове використання запропонованого проводять при зворотному русі в напрямку до процесу не вимагає спеціальної технології і початку злитка, тобто до монокристалічної обладнання. Його реалізація можлива на існуючих затравки. По досягненню початку злитка зонний підприємствах приладобудівного напрямку. нагрівач також переміщують на відстань d в На Фіг.1 представлена схематично конструкція напрямку до кінця злитка, після чого проводять ампули з загрузкою і зонним нагрівачем та перекристалізацію в зворотному напрямку (етапи І, напрямки руху при першому (І), другому (II) і II, III Фіг.1). По закінченню третього проходу зонний третьому (III) проходах зонного нагрівача. Згідно нагрівач охолоджують, а кристал піддають цього рисунку в ампулі 1 розміщено човник подальшій обробці різці, шліфуванню, прямокутної форми 2 з графіту, в якому міститься поліруванню та хімічному травленню. затравка 3. Внутрішній об'єм човника 2 містить Вимірювання коефіцієнта оптичного полікристалічний синтезований матеріал 4. В місці стику затравки - полікристалічний матеріал 4 з поглинання a та анізотропії коефіцієнта термо зовнішньої сторони ампули 1 розміщено зонний е.р.с. b класичними методами показало, що нагрівач 5, який створює розплавлену зону 6. отримані за вищеописаним процесом кристали Нижче ампули представлено відстані, які характеризуються наступними величинами проходить зонний нагрівач 5 після першого, a

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Process for obtaining of monocrystals of semi-conductor compounds by method for horizontal zone recrystallization

Автори англійською

Ascheulov Anatolii Anatoliiovych, Hrytsiuk Bohdan Mykolaiovych, Raranskyi Mykola Dmytrovych

Назва патенту російською

Процесс получения монокристаллов полупроводниковых соединений методом горизонтальной зонной перекристаллизации

Автори російською

Ащеулов Анатолий Анатольевич, Грицюк Богдан Николаевич, Раранский Николай Дмитриевич

МПК / Мітки

МПК: C30B 13/00

Мітки: процес, напівпровідникових, методом, монокристалів, перекристалізації, зонної, отримання, горизонтально, сполук

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-32716-proces-otrimannya-monokristaliv-napivprovidnikovikh-spoluk-metodom-gorizontalno-zonno-perekristalizaci.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Процес отримання монокристалів напівпровідникових сполук методом горизонтальної зонної перекристалізації</a>

Подібні патенти